2-31 非球面透镜数控抛光技术

王 健 许 乔 李 洁 陈贤华 张德勇

　　平台建设，定量检测系统已在2003年全面完成并发挥作用。非球面透镜定量检测研究包括：光路在调整中会出现各种相差，这些相差都会在检测结果中表现出来。但有些相差是由于检测光路的调节不准确引起的，有些相差却是由加工造成的，必须将这些误差作适当的分离，才能使检测结果正确地指导加工过程。实验有效地识别了光路调节中出现的像散和焦点选取误差，实现了检测的准确性。干涉检测结果到加工机床控制程序的生成过程：首先是确立一个位置之间的相互关系，保证了元件加工的正确位置，实现了从ACAD中的圆弧作图加工和DXF文件的处理。检测与加工中的位置对应：元件检测时面向干涉仪的一面是球面，而加工所在的面是元件的非球面。光线在球面和非球面之间，即在元件内部的传播线路与在元件外部的传播线路是发生过折射的。因此，干涉仪在球面一侧测量的干涉结果对应到元件的非球面上将产生位置偏差。此偏差可能影响到加工时的定位。

　　使用CAD数学软件进行分析，得到计算结果：差值最大为0.78mm。由于0.78mm相对于抛光盘的大小是较小的，可以在程序的编制和处理时忽略。

　　抛光实验过程与结果：抛光参数根据检测的情况作了必要的调整，得到图1所示的结果，达到了神光Ⅲ原型要求。