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4-41 高重频高压窄脉冲源
冯仕云 梁勤金 谢松杨
早期国内外研究的窄脉冲源重频低(几十至几百赫兹)、峰值电压小;近10年来发展起来的全固态高重频高压窄脉冲源,电压大(可达到3 kV)、峰值功率高、重频可达105赫兹量级。 要得到高峰值电压大电流的快脉冲,可以采用高压快速开关管构成的MAX电路,电路有串联充电并联放电和并联充电串联放电两种,前者的特点是重频低、充电电压高,为(N-1)BVCEO<VCC<BVCER 。后者的特点是重频高、输出电压大、速度快。因此大多采用MAX电路。图1是并联充电串联放电电路型式。 图1中,使用的全固态高压高速开关管参数一致性要好,且要求电压高、速度快、频带宽。脉冲源技术参数达到:重频100 kHz,脉冲峰值电压约3 kV,上升沿300 ps,脉冲半高宽小于300 ps,重频200 kHz,脉冲峰值电压达到2.4 kV,和2000年进口的同类脉冲源水平相当,且脉宽更窄。
实验研究表明:(1)每级都采用并联多个高压快速开关管,保证脉冲源能更有效的工作;(2)后几级的电容相对前几级加大,为了增加输出的峰值。但会使脉冲的后沿变得不光滑,可以明显看出后沿有个缺口。这是由于突然增加电容使电路的传输性能改变所致;当只要求幅度而对后沿没太严格要求时,这样设计也是允许的;(3)每一级并联的高压快速开关管的各参数一致性必须良好,这样可保电路综合性能良好;(4)整体散热非常关键,散热不好,会直接导致电路工作效率降,甚至不能工作;(5)电路分散性比较大,同样的设计和制作,会出现不同的调试结果:峰值电压相差上百伏甚至几百伏;(6)设计好的传输线对整个电路非常重要,由于电流的变化很快,分布电感不允许太大。另外设计的传输线还要具有小的传输线电容,以便能更好的控制总的充电电容。 |