4-63  大口径光学元件干涉检测平台的建立

柴立群  许 乔  谌桂萍  邓  燕  石崎凯

“神光”Ⅲ装置对所使用的大口径光学元件提出了透（反）射波前的技术指标要求，这些指标均需使用大口径的干涉仪来进行检测。由于光学检测的不确定度较大，且不同的相移及分析算法最终也会影响测试的精度及可重复性。因此针对干涉检测算法进行研究。

移相器线性误差是移相测量中的一项主要误差。当移相器只有线性误差时，会使信号频率偏离参考频率，产生失调。低频振动由微弱气流、气垫平台的振动、热变形及周围环境的振动等引起，振动对所有干涉仪都是一个严重的问题，尤其是大口径的干涉仪。采用傅里叶分析方法对不同的相移算法进行了分析，从而选出适用于自行研制的干涉仪特征的算法。表1为不同测试平面在WYKO干涉仪上的检测结果与本测试软件的测试结果比对。

开展了波长调谐相移干涉仪的关键技术研究，完成了关键参数设置研究，实现了波长调谐相移技术实际应用，且针对其波长调谐的特殊性，优选了不同于常规PZT相移技术的检测算法，检测精度接近l/15，可重复性约为0.02l。完成了f500干涉仪测试软件开发。

对于高精度的镜面测试，常规的相对检测方法达不到要求，因而开展了三板互检的绝对检测实验研究，以期为以后的大口径标准镜面检测提供基础。给出了测试镜在WYKO上的检测结果及三板检测的面形恢复结果。