2-80  激光直接驱动状态方程实验铝铜阻抗匹配靶的制作和测量

叶君建  何钜华  傅思祖  黄秀光

阻抗匹配法是激光状态方程实验重要的测量方法，阻抗匹配靶的质量与靶参数的测量精度直接影响状态方程实验数据的可靠性与精度。因此，2004年致力于高质量铝铜阻抗匹配靶的制作，并努力提高靶参数的测量精度。

铝铜阻抗匹配靶的靶箔厚度一般在几微米至几十微米，利用现代的微加工工艺也难以达到要求。文中采用轧制方法得到靶箔单元体，经精密装配得到实验用靶。

根据激光状态方程实验特点，靶面激光光斑约f900 mm，而实验真正获取数据仅对应于靶上长约1 mm、宽约几微米的区域，所以希望靶几何参数测量区域能与实验获取数据的区域一一对应。用非接触式的NT1100三维白光干涉仪实现靶参数的标识与测量，见图1，以靶盖片和铜台阶相交点为基准，向上移动一定的距离，读取得这个区域的台阶高度，以及台阶的不确定度，将这个区域作为实验打靶区域。

经这种装配工艺得到的铝铜阻抗匹配靶有残余应力，经过一定时间由于应力的释放，靶会变形。比较台阶装配完成和打靶前的两次测量数据，分析靶的变形量，剔除变形较大的靶，从而保证实验的效率。同时根据实验进度安排，有意识的控制靶制作进程，尽量缩短靶放置时间，争取做到现作现打。