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自组装静电驱动微机电系统倾斜镜

王强 汪为民 邱传凯 于军胜

王强, 汪为民, 邱传凯, 等. 自组装静电驱动微机电系统倾斜镜[J]. 强激光与粒子束, 2015, 27: 024127. doi: 10.11884/HPLPB201527.024127
引用本文: 王强, 汪为民, 邱传凯, 等. 自组装静电驱动微机电系统倾斜镜[J]. 强激光与粒子束, 2015, 27: 024127. doi: 10.11884/HPLPB201527.024127
Wang Qiang, Wang Weimin, Qiu Chuankai, et al. An electrostatically actuated MEMS tilting mirror based on self-assembly[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2015, 27: 024127. doi: 10.11884/HPLPB201527.024127
Citation: Wang Qiang, Wang Weimin, Qiu Chuankai, et al. An electrostatically actuated MEMS tilting mirror based on self-assembly[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2015, 27: 024127. doi: 10.11884/HPLPB201527.024127

自组装静电驱动微机电系统倾斜镜

doi: 10.11884/HPLPB201527.024127
详细信息
    通讯作者:

    邱传凯

An electrostatically actuated MEMS tilting mirror based on self-assembly

  • 摘要: 研制了一种基于自组装技术的静电驱动微机电系统(MEMS)倾斜镜,并利用表面硅工艺PolyMUMPs制备了样品。倾斜镜主要由一个中心镜面,两个偏转梁和两个可实现自组装的复合悬臂梁组成。中心镜面离衬底的高度可通过增大金和多晶硅复合悬臂梁的残余应力梯度得到提升。热退火技术被用于提高金层的残余应力。器件结构利用有限元仿真软件进行了优化并通过实验进行了验证。经过200 ℃热退火后,倾斜镜的偏转角度可以达到3.6。该倾斜镜可运用于微光机电系统。
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出版历程
  • 收稿日期:  2014-10-28
  • 修回日期:  2014-11-17
  • 刊出日期:  2015-01-27

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