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一种大入射角容差宽带薄膜偏振器

刘永利 张锦龙 王占山

刘永利, 张锦龙, 王占山. 一种大入射角容差宽带薄膜偏振器[J]. 强激光与粒子束, 2014, 26: 052003. doi: 10.11884/HPLPB201426.052003
引用本文: 刘永利, 张锦龙, 王占山. 一种大入射角容差宽带薄膜偏振器[J]. 强激光与粒子束, 2014, 26: 052003. doi: 10.11884/HPLPB201426.052003
Liu Yongli, Zhang Jinlong, Wang Zhanshan. A broadband thin-film polarizer with large angle tolerance[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2014, 26: 052003. doi: 10.11884/HPLPB201426.052003
Citation: Liu Yongli, Zhang Jinlong, Wang Zhanshan. A broadband thin-film polarizer with large angle tolerance[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2014, 26: 052003. doi: 10.11884/HPLPB201426.052003

一种大入射角容差宽带薄膜偏振器

doi: 10.11884/HPLPB201426.052003
详细信息
    通讯作者:

    张锦龙

A broadband thin-film polarizer with large angle tolerance

  • 摘要: 通过组合长波通和短波通膜堆的方法,设计并制备了一种大入射角容差宽带薄膜偏振器。该薄膜为HfO2/SiO2结构,采用无离子束辅助的电子束蒸发工艺,蒸发金属铪和SiO2制得。对该膜的透射率光谱、激光损伤阈值和形貌进行了研究,结果显示其不仅在1044~1084 nm波段内都具有很高的对比度,而且在1064 nm波长、 53~60的入射角范围内具有很大的消光比和激光损伤阈值,且损伤特性基本不随入射角变化。该偏振器的P光损伤阈值约为20 J/cm2,损伤主要由基板与薄膜界面处的纳米级缺陷所引起;S光损伤阈值约为45 J/cm2,损伤主要由激光辐照下薄膜表面的等离子烧蚀现象引起。
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出版历程
  • 收稿日期:  2013-10-19
  • 修回日期:  2014-01-22
  • 刊出日期:  2014-05-04

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