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基于子孔径拼接的衍射干涉靶丸形貌检测技术

卢丙辉 刘炳国 孙和义 陈凤东 刘国栋

卢丙辉, 刘炳国, 孙和义, 等. 基于子孔径拼接的衍射干涉靶丸形貌检测技术[J]. 强激光与粒子束, 2016, 28: 022006. doi: 10.11884/HPLPB201628.022006
引用本文: 卢丙辉, 刘炳国, 孙和义, 等. 基于子孔径拼接的衍射干涉靶丸形貌检测技术[J]. 强激光与粒子束, 2016, 28: 022006. doi: 10.11884/HPLPB201628.022006
Lu Binghui, Liu Bingguo, Sun Heyi, et al. Technology of target inspection by diffraction interferometer based on sub-aperture stitching[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2016, 28: 022006. doi: 10.11884/HPLPB201628.022006
Citation: Lu Binghui, Liu Bingguo, Sun Heyi, et al. Technology of target inspection by diffraction interferometer based on sub-aperture stitching[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2016, 28: 022006. doi: 10.11884/HPLPB201628.022006

基于子孔径拼接的衍射干涉靶丸形貌检测技术

doi: 10.11884/HPLPB201628.022006
详细信息
    通讯作者:

    刘国栋

Technology of target inspection by diffraction interferometer based on sub-aperture stitching

  • 摘要: 为实现惯性约束聚变实验中核心部件球形靶丸表面形貌的高精度、高效率、无遗漏检测,建立了基于子孔径拼接和衍射干涉技术相结合的靶丸形貌测量装置,给出了测量的基本原理及系统单孔径横向分辨率的计算方法,并对靶丸旋转扫描时子孔径的排布进行了划分。针对点云数据横向间隔过大导致匹配算法迭代收敛速度缓慢,甚至不收敛的问题,提出以虚拟的极小半径代替实际曲率半径,将点云进行横向压缩的方法,在保持形貌特征不变的同时提高算法的匹配速度和准确性。最后,对直径1 mm的镀金球靶进行了实际测量,得到拼接后相对形貌误差峰谷值和均方根值分别为1.332和0.479的检测结果,可以同时获得表面形貌的整体起伏特征,以及局部的形貌细节。
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出版历程
  • 收稿日期:  2015-10-19
  • 修回日期:  2015-12-07
  • 刊出日期:  2016-02-15

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