留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

MEMS环形谐振器椭圆模态中的锚损分析(英)

熊壮 杨荷 袁明权

熊壮, 杨荷, 袁明权. MEMS环形谐振器椭圆模态中的锚损分析(英)[J]. 强激光与粒子束, 2016, 28: 064121. doi: 10.11884/HPLPB201628.064121
引用本文: 熊壮, 杨荷, 袁明权. MEMS环形谐振器椭圆模态中的锚损分析(英)[J]. 强激光与粒子束, 2016, 28: 064121. doi: 10.11884/HPLPB201628.064121
Xiong Zhuang, Yang He, Yuan Mingquan. Numerical analysis of anchor mode effect in elliptic mode MEMS ring resonator[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2016, 28: 064121. doi: 10.11884/HPLPB201628.064121
Citation: Xiong Zhuang, Yang He, Yuan Mingquan. Numerical analysis of anchor mode effect in elliptic mode MEMS ring resonator[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2016, 28: 064121. doi: 10.11884/HPLPB201628.064121

MEMS环形谐振器椭圆模态中的锚损分析(英)

doi: 10.11884/HPLPB201628.064121
详细信息
    通讯作者:

    袁明权

Numerical analysis of anchor mode effect in elliptic mode MEMS ring resonator

  • 摘要: 环形谐振器是微机电系统(MEMS)谐振器中典型结构之一。其中,椭圆模态是环形谐振器面内振动的一阶模态,也是使用最为普遍的模态。以降低谐振器振荡时的锚损为目标,以有限元分析为技术手段,采用能量法对环形谐振器锚点的几何尺寸进行定量分析。分析结果表明,与研究者普遍认为的观点相反,谐振器锚点振荡模态的激发并不有助于提高谐振器的Q值。
  • 加载中
计量
  • 文章访问数:  1354
  • HTML全文浏览量:  251
  • PDF下载量:  258
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2015-11-04
  • 修回日期:  2015-12-29
  • 刊出日期:  2016-06-15

目录

    /

    返回文章
    返回