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提高光通量的软X射线非周期多层膜的数值模拟

柯常军 王占山 张铁强 曹健林 陈星旦

柯常军, 王占山, 等. 提高光通量的软X射线非周期多层膜的数值模拟[J]. 强激光与粒子束, 1999, 11(01).
引用本文: 柯常军, 王占山, 等. 提高光通量的软X射线非周期多层膜的数值模拟[J]. 强激光与粒子束, 1999, 11(01).
ke changjun, zhang tieqiang, wang zhanshan, et al. NUMERICAL SIMULATION OF DISORDER SOFT XRAY MULTILAYER FOR A MAXIMUM INTEGRATED REFLECTIVITY[J]. High Power Laser and Particle Beams, 1999, 11.
Citation: ke changjun, zhang tieqiang, wang zhanshan, et al. NUMERICAL SIMULATION OF DISORDER SOFT XRAY MULTILAYER FOR A MAXIMUM INTEGRATED REFLECTIVITY[J]. High Power Laser and Particle Beams, 1999, 11.

提高光通量的软X射线非周期多层膜的数值模拟

NUMERICAL SIMULATION OF DISORDER SOFT XRAY MULTILAYER FOR A MAXIMUM INTEGRATED REFLECTIVITY

  • 摘要: 在周期多层膜基础上,采用随机数方法找到适当的非周期膜系, 极大地提高了反射光通量,并给出了整体设计步骤。模拟计算结果表明非周期多层膜能扩展带宽和提高反射率积分值。在12.4~20.1nm波段内,最佳非周期多层膜与峰值在中心波长λ=16.25nm处 的周期多层膜相比,理论积分反射率提高了75%。多个多层膜组成系统的积分强度无明显改善。
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出版历程
  • 刊出日期:  1999-01-15

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