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夹持方式对镜面热变形及偏转的影响

余文峰 孙峰 程祖海 刘倚红 周次明 张耀宁

余文峰, 孙峰, 程祖海, 等. 夹持方式对镜面热变形及偏转的影响[J]. 强激光与粒子束, 2005, 17(01).
引用本文: 余文峰, 孙峰, 程祖海, 等. 夹持方式对镜面热变形及偏转的影响[J]. 强激光与粒子束, 2005, 17(01).
yu wen-feng, sun feng, cheng zu-hai, et al. Effects on the mirror's thermo-deformation and deflection of different supporting way[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2005, 17.
Citation: yu wen-feng, sun feng, cheng zu-hai, et al. Effects on the mirror's thermo-deformation and deflection of different supporting way[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2005, 17.

夹持方式对镜面热变形及偏转的影响

Effects on the mirror's thermo-deformation and deflection of different supporting way

  • 摘要: 在高功率激光辐照下,激光腔镜的夹持方式对热变形和偏转有很大影响。在理论上,采用ANSYS软件计算了硅镜(80 mm×12.5 mm),在特定辐照条件(100 W,40 mm、均匀、同轴、5 s)下的不同夹持方式下的热变形,径向固定的热变形镜面峰谷值(0.109 3 μm)小于轴向固定的热变形峰谷值(0.138 8 μm),三点固定的(0.121 μm)介于二者之间。在实验上,硅镜(75 mm×12.5 mm)在特定辐照条件(100 W、光斑椭圆17 mm×20 mm,5 s)下,压圈法(径向固定)的热变形为0.32 μm,镜面倾斜角为0.63 μrad;压板法(轴向固定)的热变形0.49 μm,镜面倾斜角为0.28 μrad。当采用三点锥孔定位法时,通过干涉条纹可发现镜面偏转减少。
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  • 刊出日期:  2005-01-15

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