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Fe掺杂氢化非晶碳薄膜制备及其热稳定性能

张洪亮 吴卫东 何智兵 刘兴华 李俊 曹林洪 巨新 唐永建 谢二庆

张洪亮, 吴卫东, 何智兵, 等. Fe掺杂氢化非晶碳薄膜制备及其热稳定性能[J]. 强激光与粒子束, 2008, 20(04).
引用本文: 张洪亮, 吴卫东, 何智兵, 等. Fe掺杂氢化非晶碳薄膜制备及其热稳定性能[J]. 强激光与粒子束, 2008, 20(04).
zhang hong-liang, wu wei-dong, he zhi-bing, et al. Preparation and thermal stability of Fe-doped hydrogenated amorphous carbon films[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2008, 20.
Citation: zhang hong-liang, wu wei-dong, he zhi-bing, et al. Preparation and thermal stability of Fe-doped hydrogenated amorphous carbon films[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2008, 20.

Fe掺杂氢化非晶碳薄膜制备及其热稳定性能

Preparation and thermal stability of Fe-doped hydrogenated amorphous carbon films

  • 摘要: 以H2、反式-2-丁烯(T2B)和二茂铁混合气体为工作气体,用金属有机等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)制备了Fe掺杂氢化非晶碳(a-C:H:Fe)薄膜。使用X射线光电子能谱(XPS)对a-C:H:Fe薄膜成分进行了分析。使用台阶仪、场发射扫描电镜(FESEM)、热重分析和紫外可见分光光度计(UV-VIS),对比分析了a-C:H薄膜和a-C:H:Fe薄膜的沉积速率、表面形貌、热稳定性和光学带隙变化。研究表明:相同制备条件下,相比a-C:H薄膜,a-C:H:Fe薄膜的沉积速率高,表面颗粒小,容易碳化,光学带隙变窄。
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出版历程
  • 刊出日期:  2008-04-15

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