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离子注入掺杂锐钛矿TiO2薄膜的光学性能

常丹 陈猛 向霞 居勇峰 祖小涛

常丹, 陈猛, 向霞, 等. 离子注入掺杂锐钛矿TiO2薄膜的光学性能[J]. 强激光与粒子束, 2009, 21(05).
引用本文: 常丹, 陈猛, 向霞, 等. 离子注入掺杂锐钛矿TiO2薄膜的光学性能[J]. 强激光与粒子束, 2009, 21(05).
chang dan, chen meng, xiang xia, et al. Optical properties of N-doped anatase TiO2 films prepared by ion implantation[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2009, 21.
Citation: chang dan, chen meng, xiang xia, et al. Optical properties of N-doped anatase TiO2 films prepared by ion implantation[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2009, 21.

离子注入掺杂锐钛矿TiO2薄膜的光学性能

Optical properties of N-doped anatase TiO2 films prepared by ion implantation

  • 摘要: 在玻璃基体上,采用射频磁控溅射方法在不同的基体温度下制备了TiO2薄膜,然后在薄膜中注入注量分别为5×1016, 1×1017和5×1017/cm2的N离子以制备N掺杂的TiO2薄膜。X射线衍射结果表明:制备出的TiO2薄膜为锐钛矿型。X射线光电子能谱研究结果表明:注入的N离子与TiO2晶粒相互作用,形成了含氮的TiOxN2-x化合物,从而改变了TiO2薄膜的吸收边;随N离子注量增加,吸收边移动更明显;同时,由于氮离子注入产生的辐照缺陷使TiO2薄膜在紫外和可见光区的吸收也明显增强。
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出版历程
  • 刊出日期:  2009-05-15

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