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不同工艺制备的高反射薄膜在真空与大气环境下的激光损伤特性

马平 陈松林 胡建平 王震 邵建达

马平, 陈松林, 胡建平, 等. 不同工艺制备的高反射薄膜在真空与大气环境下的激光损伤特性[J]. 强激光与粒子束, 2009, 21(12).
引用本文: 马平, 陈松林, 胡建平, 等. 不同工艺制备的高反射薄膜在真空与大气环境下的激光损伤特性[J]. 强激光与粒子束, 2009, 21(12).
ma ping, chen songlin, hu jianping, et al. Laser induced damage of high reflective coatings prepared by different deposition methods in vacuum and air[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2009, 21.
Citation: ma ping, chen songlin, hu jianping, et al. Laser induced damage of high reflective coatings prepared by different deposition methods in vacuum and air[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2009, 21.

不同工艺制备的高反射薄膜在真空与大气环境下的激光损伤特性

Laser induced damage of high reflective coatings prepared by different deposition methods in vacuum and air

  • 摘要: 建立了光学元件在真空环境下的激光损伤测量系统,采用电子束蒸发和离子辅助技术制备了Hf2/SiO2高反射薄膜。对不同工艺制备的薄膜在真空与大气环境下的1 064 nm波长的激光损伤阈值进行了测量,对薄膜的损伤形貌进行了观测。对薄膜的损伤特性研究分析结果表明:薄膜在真空环境中的损伤阈值相对大气环境中有明显下降,其1∶1测试和R1测试损伤阈值下降约30%;两种环境中的薄膜损伤特性也不同,真空环境中损伤阈值的下降可能与热传导的不同有关。
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出版历程
  • 刊出日期:  2009-12-15

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