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电子束蒸发沉积六硼化镧薄膜的逸出功

祁康成 王小菊 林祖伦 陈文彬 曹贵川

祁康成, 王小菊, 林祖伦, 等. 电子束蒸发沉积六硼化镧薄膜的逸出功[J]. 强激光与粒子束, 2010, 22(01).
引用本文: 祁康成, 王小菊, 林祖伦, 等. 电子束蒸发沉积六硼化镧薄膜的逸出功[J]. 强激光与粒子束, 2010, 22(01).
qi kangcheng, wang xiaoju, lin zulun, et al. Work function of e-beam deposited Lanthanum hexaboride film[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2010, 22.
Citation: qi kangcheng, wang xiaoju, lin zulun, et al. Work function of e-beam deposited Lanthanum hexaboride film[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2010, 22.

电子束蒸发沉积六硼化镧薄膜的逸出功

Work function of e-beam deposited Lanthanum hexaboride film

  • 摘要: 六硼化镧(LaB6)具有电子逸出功低、高熔点和高化学稳定性等优点,是制作热阴极和场发射阴极的理想发射体材料。而且在常规场发射尖锥表面涂敷一层LaB6)薄膜能够大幅度提高场发射尖锥的发射能力。为了测量LaB6) 薄膜的逸出功,采用电子束蒸发技术沉积LaB6)薄膜,并对薄膜进行了X射线衍射分析和X射线光电谱分析。通过测量薄膜的热电子发射特性和敷LaB6)薄膜的硅尖锥阵列的场致电子发射特性确定了LaB6薄膜的逸出功,与块状LaB6)多晶材料的逸出功大体相同,说明电子束蒸发沉积技术适合于制备高纯度、低逸出功的LaB6薄膜。
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  • 刊出日期:  2010-01-01

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