留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

RB-SiC表面改性Si涂层的制备与性能

苑永涛 刘红 邵传兵 陈益超 方敬忠

苑永涛, 刘红, 邵传兵, 等. RB-SiC表面改性Si涂层的制备与性能[J]. 强激光与粒子束, 2011, 23(05).
引用本文: 苑永涛, 刘红, 邵传兵, 等. RB-SiC表面改性Si涂层的制备与性能[J]. 强激光与粒子束, 2011, 23(05).
yuan yongtao, liu hong, shao chuanbing, et al. Preparation and performance of Si coating on RB-SiC mirror for surface modification[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2011, 23.
Citation: yuan yongtao, liu hong, shao chuanbing, et al. Preparation and performance of Si coating on RB-SiC mirror for surface modification[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2011, 23.

RB-SiC表面改性Si涂层的制备与性能

Preparation and performance of Si coating on RB-SiC mirror for surface modification

  • 摘要: 为了获得高质量光学表面的碳化硅反射镜,利用射频磁控溅射方法,在直径70 mm的RB-SiC基片上沉积了厚约100 μm的Si改性涂层,对改性层进行超光滑加工,并对改性层的表面形貌及性能进行了测试。ZYGO表面粗糙度仪测试结果表明,抛光后Si改性涂层表面粗糙度均方根值达到了0.496 nm;X射线衍射仪测试显示,制备Si改性涂层为多晶结构;使用拉力机做附着力测试,结果表明膜基附着力大于10.7 MPa。证明采用磁控溅射技术制备的Si改性涂层均匀、致密、附着力好,能够满足RB-SiC材料表面改性要求。
  • 加载中
计量
  • 文章访问数:  2257
  • HTML全文浏览量:  238
  • PDF下载量:  517
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 刊出日期:  2011-05-11

目录

    /

    返回文章
    返回