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准分子激光的光束波面测量技术

叶震寰,  董景星,  魏运荣,  李红霞,  楼祺洪

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文章导航 > 强激光与粒子束  > 2004 >  16(05): 0-
叶震寰, 董景星, 魏运荣, 等. 准分子激光的光束波面测量技术[J]. 强激光与粒子束, 2004, 16(05).
引用本文: 叶震寰, 董景星, 魏运荣, 等. 准分子激光的光束波面测量技术[J]. 强激光与粒子束, 2004, 16(05).
shu
ye zhen-huan, dong jing-xing, wei yun-rong, et al. Beam profile diagnosis technology for excimer laser[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2004, 16.
Citation: ye zhen-huan, dong jing-xing, wei yun-rong, et al. Beam profile diagnosis technology for excimer laser[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2004, 16.
shu

准分子激光的光束波面测量技术

  • 1.

    中国科学院 上海光学精密机械研究所,上海 201 800;

  • 2.

    中国科学院 研究生院,北京 1 ０００３９

Beam profile diagnosis technology for excimer laser

  • 1.

    Shanghai Institute,Optics and Fine Mechanics,the Chinese Academy of Sciences,Shanghai 201800,China;

  • 2.

    Graduate School,the Chinese Academy of Sciences,Beijing 100039,China

    摘要
  • 摘要: 准分子激光在激光光刻和微细加工中有广泛的应用，要求激光具有好的稳定性和光束波面均匀性。介绍了准分子激光的波面特性以及波面分析测量技术。用波面分析仪对XeCl和ArF激光特性进行全面的测量和评估，给出了主要参数的测量结果，重点分析了光束均匀性。
    Abstract: As widely applied in laser lithography and laser micromachining, excimer laser should have high stability and uniformity of beam intensity profile. This paper introduces the beam profile characteristics of excimer lasers and the beam profilometry. Experimentally, beam intensity profile of a XeCl laser and an ArF laser were diagnosed and evaluated by employing a computer with beam profile analyzer. The beam uniformity were also emphatically measured and discussed.
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出版历程
  • 刊出日期:  2004-05-15

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