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基于脉冲分组的光剂量监控新算法

唐德华 曹益平

唐德华, 曹益平. 基于脉冲分组的光剂量监控新算法[J]. 强激光与粒子束, 2014, 26: 051019. doi: 10.11884/HPLPB201426.051019
引用本文: 唐德华, 曹益平. 基于脉冲分组的光剂量监控新算法[J]. 强激光与粒子束, 2014, 26: 051019. doi: 10.11884/HPLPB201426.051019
Tang Dehua, Cao Yiping. New light dose monitoring algorithm based on grouping pulse[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2014, 26: 051019. doi: 10.11884/HPLPB201426.051019
Citation: Tang Dehua, Cao Yiping. New light dose monitoring algorithm based on grouping pulse[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2014, 26: 051019. doi: 10.11884/HPLPB201426.051019

基于脉冲分组的光剂量监控新算法

doi: 10.11884/HPLPB201426.051019
详细信息
    通讯作者:

    曹益平

New light dose monitoring algorithm based on grouping pulse

  • 摘要: 精确控制脉冲激光加工光剂量是保证加工产品工艺和质量的关键。在对现有的光剂量控制算法进行分析后,提出了基于脉冲分组的光剂量监控新算法,有效提高了光剂量监测精度和反馈控制速度。设计了光剂量监控系统,实现了脉冲激光加工光剂量实时监测及反馈控制。与Ophir公司的StarLab激光能量测量系统相比,500个激光脉冲以内的总能量测量,本系统测量误差不超过0.15%。对一套脉冲最大重复频率为10 kHz、单脉冲最大能量为5 mJ、恒压工作下最大能量波动为10%的脉冲激光加工系统光剂量进行了监控实验。在本系统的监控下,可将目标光剂量为150 mJ/mm2以内的加工光剂量控制精度和重复精度分别控制在0.90%和0.100 mJ/mm2以内,同时将光剂量反馈控制速度提高了4倍。
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出版历程
  • 收稿日期:  2013-08-04
  • 修回日期:  2014-01-08
  • 刊出日期:  2014-05-04

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