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用于第一镜表面的金属玻璃薄膜研究

公发全 文静 谭彦楠 牟宗信 周徐洋 刘万发 董闯

公发全, 文静, 谭彦楠, 等. 用于第一镜表面的金属玻璃薄膜研究[J]. 强激光与粒子束, 2014, 26: 104002. doi: 10.11884/HPLPB201426.104002
引用本文: 公发全, 文静, 谭彦楠, 等. 用于第一镜表面的金属玻璃薄膜研究[J]. 强激光与粒子束, 2014, 26: 104002. doi: 10.11884/HPLPB201426.104002
Gong Faquan, Wen Jing, Tan Yannan, et al. Metallic glass film used for first mirror surface[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2014, 26: 104002. doi: 10.11884/HPLPB201426.104002
Citation: Gong Faquan, Wen Jing, Tan Yannan, et al. Metallic glass film used for first mirror surface[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2014, 26: 104002. doi: 10.11884/HPLPB201426.104002

用于第一镜表面的金属玻璃薄膜研究

doi: 10.11884/HPLPB201426.104002

Metallic glass film used for first mirror surface

  • 摘要: 为解决大口径非晶金属第一镜实现难题,在研究块体金属玻璃Co61.2B26.2Si7.8Ta4.8材料基础上,采用金属玻璃块体材料制作拼接成溅射靶材,通过非平衡磁控溅射镀膜方法,实现了Co61.2B26.2Si7.8Ta4.8非晶金属薄膜第一镜。研究结果表明:通过成分设计及合成靶材的设计,能够实现与块体金属玻璃具有相同光学特性的非晶薄膜第一镜;通过Cr成分改进,能够进一步提高非晶金属薄膜第一镜在可见光波段的光谱反射率。
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出版历程
  • 收稿日期:  2014-06-03
  • 修回日期:  2014-07-16
  • 刊出日期:  2014-09-23

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