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红外遥感器网状微结构制作工艺

吴博琦 董连和 孙艳军 冷雁冰 王丽

吴博琦, 董连和, 孙艳军, 等. 红外遥感器网状微结构制作工艺[J]. 强激光与粒子束, 2015, 27: 124102. doi: 10.11884/HPLPB201527.124102
引用本文: 吴博琦, 董连和, 孙艳军, 等. 红外遥感器网状微结构制作工艺[J]. 强激光与粒子束, 2015, 27: 124102. doi: 10.11884/HPLPB201527.124102
Wu Boqi, Dong Lianhe, Sun Yanjun, et al. Processing technique of reticular microstructure for infrared remote sensor[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2015, 27: 124102. doi: 10.11884/HPLPB201527.124102
Citation: Wu Boqi, Dong Lianhe, Sun Yanjun, et al. Processing technique of reticular microstructure for infrared remote sensor[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2015, 27: 124102. doi: 10.11884/HPLPB201527.124102

红外遥感器网状微结构制作工艺

doi: 10.11884/HPLPB201527.124102
详细信息
    通讯作者:

    董连和

Processing technique of reticular microstructure for infrared remote sensor

  • 摘要: 为了满足航天红外遥感器光学元件透过率高、散热性好的要求,提出一种具有波长选择特性的网状微结构。采用等效介质理论、数学建模理论方法设计网状微结构特征参数,并通过Matlab软件辅助模拟微结构表面光谱辐射特性。运用离子刻蚀机制备网状微结构,通过扫描电子显微镜测量微结构表面形貌,并进行分析。根据结果判断反应气体流量、射频电源功率、反应腔内压强三个工艺参数对微结构形貌及微结构侧壁陡直度具有很大影响,以及确定最佳工艺参数组合。实验结果表明:在最佳工艺参数组合下制备的网状微结构,10.6 m工作波长下透射衍射效率大于91.5%,基本满足红外遥感器对网状微结构光学特性的要求。
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出版历程
  • 收稿日期:  2015-09-08
  • 修回日期:  2015-10-12
  • 刊出日期:  2015-11-26

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