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MEMS矢量水听器灵敏度自动测试系统设计

杨晟辉 张国军 韩建军 丁俊文 曾瑞 尚珍珍

杨晟辉, 张国军, 韩建军, 等. MEMS矢量水听器灵敏度自动测试系统设计[J]. 强激光与粒子束, 2017, 29: 044101. doi: 10.11884/HPLPB201729.160521
引用本文: 杨晟辉, 张国军, 韩建军, 等. MEMS矢量水听器灵敏度自动测试系统设计[J]. 强激光与粒子束, 2017, 29: 044101. doi: 10.11884/HPLPB201729.160521
Yang Shenghui, Zhang Guojun, Han Jianjun, et al. Design of automatic testing system for sensitivity of MEMS vector hydrophone[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2017, 29: 044101. doi: 10.11884/HPLPB201729.160521
Citation: Yang Shenghui, Zhang Guojun, Han Jianjun, et al. Design of automatic testing system for sensitivity of MEMS vector hydrophone[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2017, 29: 044101. doi: 10.11884/HPLPB201729.160521

MEMS矢量水听器灵敏度自动测试系统设计

doi: 10.11884/HPLPB201729.160521
详细信息
    通讯作者:

    张国军

Design of automatic testing system for sensitivity of MEMS vector hydrophone

  • 摘要: 针对微机电系统(MEMS)矢量水听器声压灵敏度测试中出现的测试步骤单一、测试任务繁重且耗时多,同时手动测量存在不确定的操作误差等问题,在分析矢量水听器灵敏度测试原理和测试过程的基础上,采用AD9850,AD8599,PGA205、单片机MK60DN512ZVLQ110等芯片,设计了集成信号激励源、微弱信号检测、调理以及信号采样和传输等模块的矢量水听器灵敏度自动测试装置。该装置将测试现场的仪器缩小,多模块功能集成,通过与PC上位机连接控制,快速、实时地完成矢量水听器灵敏度测试标定,在节约测试时间的同时,也能快速地完成对水听器的优化改进的验证;此装置体积小、轻便,测试连线简单,方便外场测试,促进MEMS水听器工程化应用。
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出版历程
  • 收稿日期:  2016-11-16
  • 修回日期:  2016-12-28
  • 刊出日期:  2017-04-15

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