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压电驱动器布置对光栅拼接误差的影响

陈伟 周忆 王逍 周海 刘朋威 黄金勇

陈伟, 周忆, 等. 压电驱动器布置对光栅拼接误差的影响[J]. 强激光与粒子束, 2012, 24: 1295-1300. doi: 10.3788/HPLPB20122406.1295
引用本文: 陈伟, 周忆, 等. 压电驱动器布置对光栅拼接误差的影响[J]. 强激光与粒子束, 2012, 24: 1295-1300. doi: 10.3788/HPLPB20122406.1295
Zhang Junwei, Chen Wei, Zhou Yi, et al. 压电驱动器布置对光栅拼接误差的影响[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2012, 24: 1295-1300. doi: 10.3788/HPLPB20122406.1295
Citation: Zhang Junwei, Chen Wei, Zhou Yi, et al. 压电驱动器布置对光栅拼接误差的影响[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2012, 24: 1295-1300. doi: 10.3788/HPLPB20122406.1295

压电驱动器布置对光栅拼接误差的影响

doi: 10.3788/HPLPB20122406.1295
详细信息
    通讯作者:

    张军伟

压电驱动器布置对光栅拼接误差的影响

  • 摘要:

    分析了两种光栅拼接调整机构(三角形和L形),利用有限元分析软件对这两种光栅调整机构进行了模态分析和优化分析设计。相同光栅尺寸下(以口径为450 mm420 mm60 mm光栅为例),驱动器三角形分布的固有频率与L形分布的固有频率相差无几,一阶频率分别为58.816 Hz和58.864 Hz。对两种驱动器布置方式引入的误差进行了分析比较,计算结果表明:三角形调整机构的最大误差比L形的大,同时三角形分布控制算法较L形的复杂。在主动控制中三角形模型误差迭代次数多,不利于控制。因此L形的压电驱动器布置方式优于三角形。

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出版历程
  • 收稿日期:  2011-08-22
  • 修回日期:  2012-03-05
  • 刊出日期:  2012-06-15

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