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用于高功率激光装置的压电步进驱动器

王斌 张涛 杨朋千 王勇 朱健强

王斌, 张涛, 杨朋千, 等. 用于高功率激光装置的压电步进驱动器[J]. 强激光与粒子束, 2010, 22(09).
引用本文: 王斌, 张涛, 杨朋千, 等. 用于高功率激光装置的压电步进驱动器[J]. 强激光与粒子束, 2010, 22(09).
wang bin, zhang tao, yang pengqian, et al. Piezoelectric stepper actuator in high power laser facility[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2010, 22.
Citation: wang bin, zhang tao, yang pengqian, et al. Piezoelectric stepper actuator in high power laser facility[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2010, 22.

用于高功率激光装置的压电步进驱动器

Piezoelectric stepper actuator in high power laser facility

  • 摘要: 根据神光Ⅱ高功率激光装置的具体工程需求,设计了一种以层叠式压电陶瓷为驱动元件的新型压电步进驱动器。驱动器利用杠杆机构实现箝位机构和进给机构交替箝位动子,通过对压电陶瓷小步距的位移连续累加的步进方式,实现大行程直线位移;具有控制简单、行程大、分辨力高及断电箝位的特点。样机试验结果表明,驱动器的运动分辨力达到nm级,步距分辨力达到50 nm,行程21 mm。
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  • 刊出日期:  2010-08-17

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