留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

飞秒激光双光子加工的极限分辨力

宋旸 董贤子 赵震声 段宣明

宋旸, 董贤子, 赵震声, 等. 飞秒激光双光子加工的极限分辨力[J]. 强激光与粒子束, 2011, 23(07).
引用本文: 宋旸, 董贤子, 赵震声, 等. 飞秒激光双光子加工的极限分辨力[J]. 强激光与粒子束, 2011, 23(07).
song yang, dong xianzi, zhao zhensheng, et al. Investigation into ultimate resolution by femtosecond laser two-photon fabrication technique[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2011, 23.
Citation: song yang, dong xianzi, zhao zhensheng, et al. Investigation into ultimate resolution by femtosecond laser two-photon fabrication technique[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2011, 23.

飞秒激光双光子加工的极限分辨力

Investigation into ultimate resolution by femtosecond laser two-photon fabrication technique

  • 摘要: 采用3维压电微移动台高速扫描方式控制曝光时间与高精密转台精确控制圆形渐变衰减片以控制曝光功率两种方法,曝光时间和曝光功率可分别精确控制至0.02 ms和7 pW。通过精确控制聚合阈值附近处的曝光时间和曝光功率,分别在玻璃基板上获得了35 nm和45 nm的聚合物纳米线条,分别为所使用激光波长的1/22和1/17。实验结果表明,当曝光时间或曝光功率在加工阈值附近时,曝光时间和功率的微量减少会使聚合线宽急剧下降。
  • 加载中
计量
  • 文章访问数:  2073
  • HTML全文浏览量:  264
  • PDF下载量:  631
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 刊出日期:  2011-07-21

目录

    /

    返回文章
    返回