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抗真空有机物污染增透膜特性分析

晏良宏 蒋晓东 江波 袁晓东 吕海兵

晏良宏, 蒋晓东, 江波, 等. 抗真空有机物污染增透膜特性分析[J]. 强激光与粒子束, 2007, 19(05).
引用本文: 晏良宏, 蒋晓东, 江波, 等. 抗真空有机物污染增透膜特性分析[J]. 强激光与粒子束, 2007, 19(05).
yan liang-hong, jiang xiao-dong, jiang bo, et al. Properties of antireflective coating with vacuum organic contamination resistant property[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2007, 19.
Citation: yan liang-hong, jiang xiao-dong, jiang bo, et al. Properties of antireflective coating with vacuum organic contamination resistant property[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2007, 19.

抗真空有机物污染增透膜特性分析

Properties of antireflective coating with vacuum organic contamination resistant property

  • 摘要: 采用溶胶-凝胶法,结合氨水后处理工艺制备了抗真空有机物污染的二氧化硅增透膜。该膜峰值透光率为99.8%,在有机污染的真空系统中(10-3 Pa)保持168 h,透光率曲线变化微小,而同样条件下常规二氧化硅增透膜的峰值透光率下降至95.5%。并采用分光光度计、红外光谱、扫描探针显微镜、静滴接触角测量仪、椭偏仪等测试手段分析了薄膜的特性。
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  • 刊出日期:  2007-05-15

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