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大口径光学元件薄膜厚度均匀性修正

王长军 熊胜明

王长军, 熊胜明. 大口径光学元件薄膜厚度均匀性修正[J]. 强激光与粒子束, 2007, 19.
引用本文: 王长军, 熊胜明. 大口径光学元件薄膜厚度均匀性修正[J]. 强激光与粒子束, 2007, 19.
wang chang-jun, xiong sheng-ming. Correction for film thickness uniformity of large aperture optical components[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2007, 19.
Citation: wang chang-jun, xiong sheng-ming. Correction for film thickness uniformity of large aperture optical components[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2007, 19.

大口径光学元件薄膜厚度均匀性修正

Correction for film thickness uniformity of large aperture optical components

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出版历程
  • 刊出日期:  2007-07-15

大口径光学元件薄膜厚度均匀性修正

摘要: 研究了2.2 m高真空箱式镀膜机镀膜时的实际膜厚分布情况。对非球面和平面光学元件,分别采用行星夹具和平面公转夹具并利用修正板调节膜厚均匀性。从实验上实现了大口径薄膜均匀性的调节,并获得较为理想的结果。口径在700 mm范围内,对于凹面均匀性可以控制在0.7%以内,平面均匀性在1%以内;口径在1 200 mm范围内凹面元件均匀性可控制在1%以内,平面1 300 mm口径以内窗口均匀性可控制在1%以内。镀制了口径在400~1 300 mm的多种天文观测上使用的反射镜、增透膜等,获得了理想的光谱曲线与较好的使用效果。

English Abstract

王长军, 熊胜明. 大口径光学元件薄膜厚度均匀性修正[J]. 强激光与粒子束, 2007, 19.
引用本文: 王长军, 熊胜明. 大口径光学元件薄膜厚度均匀性修正[J]. 强激光与粒子束, 2007, 19.
wang chang-jun, xiong sheng-ming. Correction for film thickness uniformity of large aperture optical components[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2007, 19.
Citation: wang chang-jun, xiong sheng-ming. Correction for film thickness uniformity of large aperture optical components[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2007, 19.

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