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溶胶凝胶法制备抗激光损伤SiO2疏水减反射膜

徐耀 范文浩 黄祖鑫 章斌 吴东 蒋晓东 孙予罕 魏晓峰

徐耀, 范文浩, 黄祖鑫, 等. 溶胶凝胶法制备抗激光损伤SiO2疏水减反射膜[J]. 强激光与粒子束, 2004, 16(01).
引用本文: 徐耀, 范文浩, 黄祖鑫, 等. 溶胶凝胶法制备抗激光损伤SiO2疏水减反射膜[J]. 强激光与粒子束, 2004, 16(01).
xu yao, fan wen-hao, huang zu-xin, et al. Preparation of hydrophobic anti-reflective SiO2 films for high laser resistance by Sol-Gel Process[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2004, 16.
Citation: xu yao, fan wen-hao, huang zu-xin, et al. Preparation of hydrophobic anti-reflective SiO2 films for high laser resistance by Sol-Gel Process[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2004, 16.

溶胶凝胶法制备抗激光损伤SiO2疏水减反射膜

Preparation of hydrophobic anti-reflective SiO2 films for high laser resistance by Sol-Gel Process

  • 摘要: 通过溶胶-凝胶法,在碱性条件下水解缩聚正硅酸乙酯获得含有SiO2颗粒的溶胶;以甲基三乙氧基硅烷在酸性条件下水解缩聚获得双链聚合物溶液,作为疏水基团的引入剂。用两者的混合物在玻璃片上旋转镀膜。利用光子相干光谱法、透射电子显微镜、小角X射线散射等方法研究了溶胶微结构,利用紫外-可见光谱仪和接触角测定仪测量薄膜的透射率和疏水性。单面反射率最低降至0.01%,对水接触角最高为118°。利用Nd:YAG激光(1 064nm)测量了薄膜的激光损伤阈值,随混合溶胶中双链聚合物含量的增加损伤阈值减小,但均高于20J/cm2(1ns脉冲)。由于薄膜既保持了纳米氧化硅薄膜的多孔性,又在颗粒及孔表面以甲基修饰,水对薄膜的浸润能力大大降低,因此薄膜的时间稳定性大大增强,同时也保证了较高的损伤阈值和透射率。
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  • 刊出日期:  2004-01-15

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