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掺氟SiO2增透膜真空环境抗污染能力

赵松楠 吕海兵 晏良宏 王海军 王韬 袁晓东 郑万国

赵松楠, 吕海兵, 晏良宏, 等. 掺氟SiO2增透膜真空环境抗污染能力[J]. 强激光与粒子束, 2010, 22(05).
引用本文: 赵松楠, 吕海兵, 晏良宏, 等. 掺氟SiO2增透膜真空环境抗污染能力[J]. 强激光与粒子束, 2010, 22(05).
zhao songnan, lü haibing, yan lianghong, et al. Contamination-resistant capability of sol-gel fluorin-doped SiO2 antireflective coating in vaccum[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2010, 22.
Citation: zhao songnan, lü haibing, yan lianghong, et al. Contamination-resistant capability of sol-gel fluorin-doped SiO2 antireflective coating in vaccum[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2010, 22.

掺氟SiO2增透膜真空环境抗污染能力

Contamination-resistant capability of sol-gel fluorin-doped SiO2 antireflective coating in vaccum

  • 摘要: 以正硅酸乙酯为前驱体,采用氨水为催化剂配制SiO2溶胶,在胶体陈化过程中掺入十二氟庚基丙基三甲氧基硅烷对胶体进行改性,并采用溶胶凝胶法在K9基片上制备了改性的二氧化硅增透膜,用红外光谱仪、分光光度计、原子力显微镜、椭偏仪、静滴接触角测量仪、N2吸附-脱附对膜层性质进行了分析。结果表明:掺氟的二氧化硅膜层增透膜峰值透光率为99.7%;与水的接触角为129°;与二甲基硅油的接触角达到86°;膜层真空抗污染能力比掺氟前大大提高。
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  • 刊出日期:  2010-04-25

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