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激光脉冲波形对烧蚀Si靶表面温度的影响

王世俊 王英龙 丁学成 梁伟华 邓泽超 褚立志 傅广生

王世俊, 王英龙, 丁学成, 等. 激光脉冲波形对烧蚀Si靶表面温度的影响[J]. 强激光与粒子束, 2010, 22.
引用本文: 王世俊, 王英龙, 丁学成, 等. 激光脉冲波形对烧蚀Si靶表面温度的影响[J]. 强激光与粒子束, 2010, 22.
wang shijun, wang yinglong, ding xuecheng, et al. Influence of laser pulse shape on surface temperature of Si-target[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2010, 22.
Citation: wang shijun, wang yinglong, ding xuecheng, et al. Influence of laser pulse shape on surface temperature of Si-target[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2010, 22.

激光脉冲波形对烧蚀Si靶表面温度的影响

Influence of laser pulse shape on surface temperature of Si-target

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出版历程
  • 刊出日期:  2010-07-12

激光脉冲波形对烧蚀Si靶表面温度的影响

摘要: 利用双温方程对激光烧蚀Si靶的过程进行了数值模拟,并结合合适的初始条件和边界条件,研究了在飞秒、皮秒激光作用下,脉冲波形(矩形、梯形、三角形和高斯形)对Si靶表面载流子和晶格温度分布的影响。结果表明:激光功率密度是影响载流子温升的主要因素,矩形脉冲激光烧蚀Si靶表面载流子的峰值温度最高,而高斯分布的脉冲引起靶面载流子峰值温度最低。可见,激光脉冲波形对Si靶表面载流子的温度分布具有重要影响。所得结果可为制备高质量的薄膜提供理论依据。

English Abstract

王世俊, 王英龙, 丁学成, 等. 激光脉冲波形对烧蚀Si靶表面温度的影响[J]. 强激光与粒子束, 2010, 22.
引用本文: 王世俊, 王英龙, 丁学成, 等. 激光脉冲波形对烧蚀Si靶表面温度的影响[J]. 强激光与粒子束, 2010, 22.
wang shijun, wang yinglong, ding xuecheng, et al. Influence of laser pulse shape on surface temperature of Si-target[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2010, 22.
Citation: wang shijun, wang yinglong, ding xuecheng, et al. Influence of laser pulse shape on surface temperature of Si-target[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2010, 22.

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