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St?ber法制备二氧化硅薄膜反应动力学

商孟莹 蒋晓东 刘淼 罗炫 唐永建 曹林洪

商孟莹, 蒋晓东, 刘淼, 等. St?ber法制备二氧化硅薄膜反应动力学[J]. 强激光与粒子束, 2013, 25: 898-902.
引用本文: 商孟莹, 蒋晓东, 刘淼, 等. St?ber法制备二氧化硅薄膜反应动力学[J]. 强激光与粒子束, 2013, 25: 898-902.
Shang Mengying, Jiang Xiaodong, Liu Miao, et al. Reaction kinetics for preparation of silica film with St?ber method[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2013, 25: 898-902.
Citation: Shang Mengying, Jiang Xiaodong, Liu Miao, et al. Reaction kinetics for preparation of silica film with St?ber method[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2013, 25: 898-902.

St?ber法制备二氧化硅薄膜反应动力学

详细信息
    通讯作者:

    曹林洪

Reaction kinetics for preparation of silica film with St?ber method

  • 摘要: 通过研究正硅酸乙酯(TEOS)水解的反应动力学,推导出Stber法制备二氧化硅溶胶体系中反应时间与TEOS转化率关系的动力学公式。分析确定了合适的转化率,进而用于计算二氧化硅溶胶的理论最佳反应时间。同时,以正硅酸乙酯为硅源,采用溶胶凝胶法在氨水催化作用下制备了不同配比的二氧化硅溶胶,考察了氨和水的浓度对反应时间的影响,结果表明,两者浓度增大可以有效减少反应时间。通过成膜性检测确定制备过程中的最佳反应时间,并与理论计算得到的最佳反应时间进行比较,结果表明,两者一致,误差控制在5%以内,说明该动力学公式具有很好的适用性。 2012-06-01;修订日期:
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出版历程
  • 收稿日期:  2012-06-01
  • 修回日期:  2012-11-13
  • 刊出日期:  2013-03-09

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