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氧化铈抛光改善光束采样光栅衍射效率均匀性

饶欢乐 刘正坤 刘颖 蒋晓龙 邱克强 徐向东 洪义麟 付绍军

饶欢乐, 刘正坤, 刘颖, 等. 氧化铈抛光改善光束采样光栅衍射效率均匀性[J]. 强激光与粒子束, 2013, 25: 1609-1610. doi: 10.3788/HPLPB20132507.1609
引用本文: 饶欢乐, 刘正坤, 刘颖, 等. 氧化铈抛光改善光束采样光栅衍射效率均匀性[J]. 强激光与粒子束, 2013, 25: 1609-1610. doi: 10.3788/HPLPB20132507.1609
Rao Huanle, Liu Zhengkun, Liu Ying, et al. Cerium oxide polishing to improve uniformity of diffraction efficiencyof beam sampling grating[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2013, 25: 1609-1610. doi: 10.3788/HPLPB20132507.1609
Citation: Rao Huanle, Liu Zhengkun, Liu Ying, et al. Cerium oxide polishing to improve uniformity of diffraction efficiencyof beam sampling grating[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2013, 25: 1609-1610. doi: 10.3788/HPLPB20132507.1609

氧化铈抛光改善光束采样光栅衍射效率均匀性

doi: 10.3788/HPLPB20132507.1609
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    通讯作者:

    刘颖

Cerium oxide polishing to improve uniformity of diffraction efficiencyof beam sampling grating

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出版历程
  • 收稿日期:  2013-01-30
  • 修回日期:  2013-03-20
  • 刊出日期:  2013-05-02

氧化铈抛光改善光束采样光栅衍射效率均匀性

doi: 10.3788/HPLPB20132507.1609
    通讯作者: 刘颖

摘要: 作为强激光系统的终端组件之一,光束采样光栅是制作在熔石英基底上的浅槽光栅。利用熔石英的传统化学机械抛光技术,修正熔石英光束采样光栅的槽型轮廓,降低局部偏高的衍射效率,以提高光束采样光栅的整体效率均匀性。利用此方法已成功将430 mm430 mm的光束采样光栅的衍射效率均方根值(RMS)由30%附近降低到5%以下。实验结果显示,利用传统化学机械抛光技术可以有效提高光束采样光栅衍射效率均匀性,这是一种可行的技术方案。

English Abstract

饶欢乐, 刘正坤, 刘颖, 等. 氧化铈抛光改善光束采样光栅衍射效率均匀性[J]. 强激光与粒子束, 2013, 25: 1609-1610. doi: 10.3788/HPLPB20132507.1609
引用本文: 饶欢乐, 刘正坤, 刘颖, 等. 氧化铈抛光改善光束采样光栅衍射效率均匀性[J]. 强激光与粒子束, 2013, 25: 1609-1610. doi: 10.3788/HPLPB20132507.1609
Rao Huanle, Liu Zhengkun, Liu Ying, et al. Cerium oxide polishing to improve uniformity of diffraction efficiencyof beam sampling grating[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2013, 25: 1609-1610. doi: 10.3788/HPLPB20132507.1609
Citation: Rao Huanle, Liu Zhengkun, Liu Ying, et al. Cerium oxide polishing to improve uniformity of diffraction efficiencyof beam sampling grating[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2013, 25: 1609-1610. doi: 10.3788/HPLPB20132507.1609

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