氧化铈抛光改善光束采样光栅衍射效率均匀性

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氧化铈抛光改善光束采样光栅衍射效率均匀性

饶欢乐, 刘正坤, 刘颖, 蒋晓龙, 邱克强, 徐向东, 洪义麟, 付绍军

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饶欢乐, 刘正坤, 刘颖, 等. 氧化铈抛光改善光束采样光栅衍射效率均匀性[J]. 强激光与粒子束, 2013, 25: 1609-1610. doi: 10.3788/HPLPB20132507.1609

引用本文:

饶欢乐, 刘正坤, 刘颖, 等. 氧化铈抛光改善光束采样光栅衍射效率均匀性[J]. 强激光与粒子束, 2013, 25: 1609-1610. doi: 10.3788/HPLPB20132507.1609

Rao Huanle, Liu Zhengkun, Liu Ying, et al. Cerium oxide polishing to improve uniformity of diffraction efficiencyof beam sampling grating[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2013, 25: 1609-1610. doi: 10.3788/HPLPB20132507.1609

Citation:

Rao Huanle, Liu Zhengkun, Liu Ying, et al. Cerium oxide polishing to improve uniformity of diffraction efficiencyof beam sampling grating[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2013, 25: 1609-1610. doi: 10.3788/HPLPB20132507.1609

氧化铈抛光改善光束采样光栅衍射效率均匀性

doi: 10.3788/HPLPB20132507.1609

1.
中国科学技术大学国家同步辐射实验室, 合肥 230029

通讯作者:
刘颖

Cerium oxide polishing to improve uniformity of diffraction efficiencyof beam sampling grating

1.
National Synchrotron Radiation Laboratory,University of Science and Technology of China,Hefei 230029,China

摘要: 作为强激光系统的终端组件之一，光束采样光栅是制作在熔石英基底上的浅槽光栅。利用熔石英的传统化学机械抛光技术，修正熔石英光束采样光栅的槽型轮廓，降低局部偏高的衍射效率，以提高光束采样光栅的整体效率均匀性。利用此方法已成功将430 mm430 mm的光束采样光栅的衍射效率均方根值（RMS）由30%附近降低到5%以下。实验结果显示，利用传统化学机械抛光技术可以有效提高光束采样光栅衍射效率均匀性，这是一种可行的技术方案。
- 光束采样光栅 /
- 衍射效率 /
- 均匀性 /
- 化学机械抛光
Abstract: As one element of final assembly in high-power laser systems, beam sampling grating (BSG) is a fused silica grating with shallow depths. In order to improve the uniformity of diffraction efficiency of a BSG, a classical chemical mechanical polishing technique of fused silica, with CeO2 as the polishing material, is proposed for BSG to modify its profile and efficiency. With this method, the efficiency root mean square of a BSG with an aperture of 430 mm430 mm can be reduced from nearly 30% to less than 5%, which shows that the CeO2 polishing is a feasible and effective method to improve the efficiency uniformity of BSG.
- beam sampling grating /
- diffraction efficiency /
- uniformity /
- chemical mechanical polishing

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[3]	朱托, 尚万里, 杨家敏, 熊刚, 赵阳, 张文海, 况龙钰, 赵屹东, 崔明启, 郑雷, 韩勇, 周克瑾, 马陈燕. 弱谐波情况下透射光栅衍射效率标定方法 . 强激光与粒子束, 2014, 26(01): 012008-. doi: 10.3788/HPLPB201426.012008
[4]	赵祥杰, 张大勇, 骆永全. 反射式液晶空间光调制器电控光束偏转 . 强激光与粒子束, 2012, 24(06): 1324-1328. doi: 10.3788/HPLPB20122406.1324
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[11]	王长军, 熊胜明. 大口径光学元件薄膜厚度均匀性修正 . 强激光与粒子束, 2007, 19(07): 0- .
[12]	刘全, 吴建宏. 取样光栅镀膜减反技术研究 . 强激光与粒子束, 2007, 19(01): 0- .
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[19]	杨家敏, 丁耀南, 崔明启, 曹磊峰, 丁永坤, 朱佩平, 赵屹东, 杨国洪, 郑志坚, 王耀梅, 张文海, 黎刚. 透射光栅衍射效率研究 . 强激光与粒子束, 2000, 12(06): 0- .
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氧化铈抛光改善光束采样光栅衍射效率均匀性

doi: 10.3788/HPLPB20132507.1609

1. 中国科学技术大学国家同步辐射实验室, 合肥 230029

通讯作者: 刘颖

收稿日期: 2013-01-30
修回日期: 2013-03-20
刊出日期: 2013-05-02

关键词:

光束采样光栅 /

化学机械抛光

摘要: 作为强激光系统的终端组件之一，光束采样光栅是制作在熔石英基底上的浅槽光栅。利用熔石英的传统化学机械抛光技术，修正熔石英光束采样光栅的槽型轮廓，降低局部偏高的衍射效率，以提高光束采样光栅的整体效率均匀性。利用此方法已成功将430 mm430 mm的光束采样光栅的衍射效率均方根值（RMS）由30%附近降低到5%以下。实验结果显示，利用传统化学机械抛光技术可以有效提高光束采样光栅衍射效率均匀性，这是一种可行的技术方案。

English Abstract

饶欢乐, 刘正坤, 刘颖, 等. 氧化铈抛光改善光束采样光栅衍射效率均匀性[J]. 强激光与粒子束, 2013, 25: 1609-1610. doi: 10.3788/HPLPB20132507.1609

引用本文:

饶欢乐, 刘正坤, 刘颖, 等. 氧化铈抛光改善光束采样光栅衍射效率均匀性[J]. 强激光与粒子束, 2013, 25: 1609-1610. doi: 10.3788/HPLPB20132507.1609

Rao Huanle, Liu Zhengkun, Liu Ying, et al. Cerium oxide polishing to improve uniformity of diffraction efficiencyof beam sampling grating[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2013, 25: 1609-1610. doi: 10.3788/HPLPB20132507.1609

Citation:

Rao Huanle, Liu Zhengkun, Liu Ying, et al. Cerium oxide polishing to improve uniformity of diffraction efficiencyof beam sampling grating[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2013, 25: 1609-1610. doi: 10.3788/HPLPB20132507.1609

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