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环形抛光中频误差的计算模拟

谢磊 张云帆 游云峰 马平 刘义彬 鄢定尧

谢磊, 张云帆, 游云峰, 等. 环形抛光中频误差的计算模拟[J]. 强激光与粒子束, 2013, 25: 3307-3310. doi: 3307
引用本文: 谢磊, 张云帆, 游云峰, 等. 环形抛光中频误差的计算模拟[J]. 强激光与粒子束, 2013, 25: 3307-3310. doi: 3307
Xie Lei, Zhang Yunfan, You Yunfeng, et al. Calculation and simulation on mid-spatial frequency error in continuous polishing[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2013, 25: 3307-3310. doi: 3307
Citation: Xie Lei, Zhang Yunfan, You Yunfeng, et al. Calculation and simulation on mid-spatial frequency error in continuous polishing[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2013, 25: 3307-3310. doi: 3307

环形抛光中频误差的计算模拟

doi: 3307
详细信息
    通讯作者:

    谢磊

Calculation and simulation on mid-spatial frequency error in continuous polishing

  • 摘要: 通过建立环形抛光的去除模型,从理论上分析了转速比、槽形、元件摆动对于抛光结果的影响,并分析了中频误差产生的原因。模拟结果表明:转速比的差异会产生较大的低频误差,而中频误差会随着低频误差的降低而降低;槽形是中频误差的主要来源,复杂的非对称不规律槽形使抛光路径复杂化,降低中频误差;同时元件的小幅度摆动能够使抛光更加均匀,减小定心式抛光造成的元件表面规则状纹路结构,从而有效减小元件的中频误差。
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出版历程
  • 收稿日期:  2013-07-22
  • 修回日期:  2013-08-25
  • 刊出日期:  2013-12-15

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