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大口径碳化硅反射镜数控抛光工艺

朱衡 刘夏来 黄金勇 鄢定尧 马平

朱衡, 刘夏来, 黄金勇, 等. 大口径碳化硅反射镜数控抛光工艺[J]. 强激光与粒子束, 2013, 25: 3311-3314. doi: 3311
引用本文: 朱衡, 刘夏来, 黄金勇, 等. 大口径碳化硅反射镜数控抛光工艺[J]. 强激光与粒子束, 2013, 25: 3311-3314. doi: 3311
Zhu Heng, Liu Xialai, Huang Jinyong, et al. Polishing of large-aperture reflective SiC mirror using computer-controlled optical surfacing[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2013, 25: 3311-3314. doi: 3311
Citation: Zhu Heng, Liu Xialai, Huang Jinyong, et al. Polishing of large-aperture reflective SiC mirror using computer-controlled optical surfacing[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2013, 25: 3311-3314. doi: 3311

大口径碳化硅反射镜数控抛光工艺

doi: 3311

Polishing of large-aperture reflective SiC mirror using computer-controlled optical surfacing

  • 摘要: 研究了针对600 mm口径方形轻质碳化硅元件的数控抛光工艺过程,采用国产OP1000数控研磨抛光机床对一块600 mm480 mm的方形碳化硅元件进行数控抛光加工。在经过两周的加工时间,碳化硅光学元件的通光口径均方根(RMS)值收敛到了35 nm(大约为/18,=632.8 nm)。在加工过程中针对大口径椭圆形碳化硅反射镜采用了合适的加工参数优化,例如在加工过程中的不同阶段选择了不同颗粒度的金刚石微粉作为特定阶段的抛光辅料以保证光学元件的表面粗糙度。对计算机控制数控加工技术的快速收敛过程也进行了阐释。
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出版历程
  • 收稿日期:  2013-07-22
  • 修回日期:  2013-08-25
  • 刊出日期:  2013-12-15

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