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大口径标准镜绝对面形精度传递方法

徐凯源 李强 刘昂 高波 何宇航

徐凯源, 李强, 刘昂, 等. 大口径标准镜绝对面形精度传递方法[J]. 强激光与粒子束, 2013, 25: 3210-3214. doi: 3210
引用本文: 徐凯源, 李强, 刘昂, 等. 大口径标准镜绝对面形精度传递方法[J]. 强激光与粒子束, 2013, 25: 3210-3214. doi: 3210
Xu Kaiyuan, Li Qiang, Liu Ang, et al. Accuracy transfer method of large aperture standard mirrors’ absolute surface error[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2013, 25: 3210-3214. doi: 3210
Citation: Xu Kaiyuan, Li Qiang, Liu Ang, et al. Accuracy transfer method of large aperture standard mirrors’ absolute surface error[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2013, 25: 3210-3214. doi: 3210

大口径标准镜绝对面形精度传递方法

doi: 3210
详细信息
    通讯作者:

    徐凯源

Accuracy transfer method of large aperture standard mirrors’ absolute surface error

  • 摘要: 提出了一种大口径干涉仪标准镜绝对面形精度的传递方法,在已知一台干涉仪参考镜绝对面形的前提下,可向待测标准镜进行精度传递。由于检测温度与使用温度的不同,待测标准镜在另一台干涉仪作参考镜时,绝对面形会发生变化,变化集中在离焦量上;在待测标准镜使用状态下,通过对经典三板互检法得到的竖直方向直线绝对面形的分析,得到标准镜使用状态离焦量的估计,以此修正直接精度传递结果,最终得到待测标准镜使用状态下的绝对面形。比较同一块光学元件在两台干涉仪上标定前和标定后的测量结果,标定后的面形差值更小且分布一致性更好,证明了本方法的有效性和可行性。
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出版历程
  • 收稿日期:  2013-09-11
  • 修回日期:  2013-09-23
  • 刊出日期:  2013-12-15

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