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光学元件中高频PSD2误差的实验研究

廖德锋 陈贤华 袁志刚 谢瑞清 钟波

廖德锋, 陈贤华, 袁志刚, 等. 光学元件中高频PSD2误差的实验研究[J]. 强激光与粒子束, 2013, 25: 3325-3328. doi: 3325
引用本文: 廖德锋, 陈贤华, 袁志刚, 等. 光学元件中高频PSD2误差的实验研究[J]. 强激光与粒子束, 2013, 25: 3325-3328. doi: 3325
Liao Defeng, Chen Xianhua, Yuan Zhigang, et al. Experimental study on mid-spatial frequency PSD2 error of optics[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2013, 25: 3325-3328. doi: 3325
Citation: Liao Defeng, Chen Xianhua, Yuan Zhigang, et al. Experimental study on mid-spatial frequency PSD2 error of optics[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2013, 25: 3325-3328. doi: 3325

光学元件中高频PSD2误差的实验研究

doi: 3325
详细信息
    通讯作者:

    廖德锋

Experimental study on mid-spatial frequency PSD2 error of optics

  • 摘要: 光学元件的中高频误差一般采用功率谱密度(PSD)表示,其划分为PSD1和PSD2两个频段。针对目前国内外研究较少的PSD2频段误差,分析和实验研究了其潜在的影响因素。采用沥青和聚氨酯盘抛光熔石英元件的实验结果显示:小工具数控相比传统全口径抛光并未增大PSD2误差,而抛光盘材质对PSD2误差具有决定性的影响。沥青盘在抑制PSD2误差方向具有较好的优越性,工件表面的PSD2指标能够满足要求,而聚氨酯抛光元件表面的PSD2误差则较高。针对这一问题,提出采用固结金刚石丸片修整聚氨酯垫,通过细化金刚石颗粒获得了合格的PSD2指标。
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出版历程
  • 收稿日期:  2013-07-22
  • 修回日期:  2013-08-22
  • 刊出日期:  2013-12-15

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